クリーンルームの規格
現在、米国（米国連邦基準209、NASA-NHB 5340）、ドイツ（VDI-2083）等で規格が制定されている。日本ではJIS B 9922（クリーンベンチ）の適用範囲の注で実質的に清浄度クラスを規定している。Table1にFed、Std209B、NASA、Std209Dを示す。またTable2はFed、Std Dで明示された清浄度クラスと測定粒径に対する最少サンプル量である。
◎米国連邦規格209bクリーンルームの規格要旨
クリーン
ルーム
クラス |
粒子 |
圧力 |
温度 |
湿度 |
気流 |
照度 |
| 粒径 μm |
粒子数 個/ ft3 |
mmAq |
範囲℃ |
推奨値℃ |
偏差℃ |
最高% |
最低% |
偏差% |
m/S換気回数 |
Lux |
| 10※ |
≧0.5 |
≦10 ※ |
1.25
以上 |
19.4
・
25 |
22.2 |
±2.8
特別には
±0.14 |
45 |
30 |
±10
特別には
±5 |
層流方式
0.35ｍ/s
・
0.55ｍ/s
乱流方式
≧ 20回/時 |
1,080
・
1,620 |
| ≧5.0 |
0 |
| 100 |
≧0.5 |
≦100 |
| ≧5.0 |
≦10 ※ |
| 1,000 |
≧0.5 |
≦1,000 |
| ≧5.0 |
≦10 ※ |
| 10,000 |
≧0.5 |
≦10,000 |
| ≧5.0 |
≦65 |
| 100,000 |
≧0.5 |
≦100,000 |
| ≧5.0 |
≦700 |
※10個/ ft3以下の粒子濃度は、サンプルを多数とった場合以外は、信頼性が低い。
◎ バイオクリーンルームのNASA規格要旨
| 級別 |
塵埃粒子 |
微生物粒子 |
| 粒径 |
累積粒子数 |
|
浮遊量 |
沈降量 |
| μ |
個/ ft3 |
個/ ? |
個/ ft3 |
個/ ? |
個/ ft3週 |
個/ ? 週 |
| 100 |
≧0.5 |
100 |
3,500 |
0 |
3.5 |
1,200 |
12,900 |
| 10,000 |
≧0.5 |
10,000 |
350,000 |
0.5 |
17.6 |
6,000 |
64,600 |
| ≧5.0 |
65 |
2,300 |
| 100,000 |
≧0.5 |
100,000 |
3,500,000 |
2.5 |
88.4 |
30,000 |
323,000 |
| ≧5.0 |
700 |
25,000 |
圧力、生物粒子、湿度、気流（但し、乱流方式28回/時以上） 照度は米国連邦基準に同じ。温度は指示値とする。
◎JIS B9920清浄度クラスの上限濃度（個/ ㎡）
粒径（μm）
1 |
清浄度クラス |
| クラス1 |
クラス2 |
クラス3 |
クラス4 |
クラス5 |
クラス6 |
クラス7 |
クラス8 |
| 0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
（106） |
（107） |
（108） |
| 0.2 |
2 |
24 |
236 |
2360 |
23600 |
－ |
－ |
－ |
| 0.3 |
1 |
10 |
101 |
1010 |
10100 |
101000 |
1010000 |
10100000 |
| 0.5 |
(0.35) |
(3.5) |
35 |
350 |
3500 |
35000 |
350000 |
3500000 |
| 5.0 |
－ |
－ |
－ |
－ |
29 |
290 |
2900 |
29000 |
| 粒径範囲 |
0.1～0.3 |
0.1～0.5 |
0.1～5.0 |
0.3～5.0 |
米国連邦規格
209bとの対応 |
－ |
1 |
10 |
100 |
1,000 |
10,000 |
100,000 |
| 半導体製造 |
IC製造
ウェハー工程 |
|
工業用クリーンルーム |
|
| バイオテクノロジー |
|
バイオハザード
組替えDNA |
バイオクリーンルーム |
| 医療 |
|
バイオクリーン手術室 |
|
医薬品製造
（GMP） |
|
製剤プロセス
----------------------------------------------
抗生物質、抗がん物質、一般 |
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|
| 食品 |
|
レトルト食品
加工工程 |
|
発酵工程
金属加工工程 |
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