真空ポンプ
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真空ポンプとは
● 真空ポンプとは
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（参考文献「真空技術活用マニュアル」 発行：(株)工業調査会）
容器の中の気体を除去する機能を持つ装置が真空ポンプである。現在市販されている真空ポンプは多種多様であるが、動作原理によって大別すると機械的真空ポンプ、運動量移送式真空ポンプ、 溜込式真空ポンプになる。
真空ポンプの種類と使用される圧力の範囲
機械的真空ポンプ
・液封真空ポンプ
：
多数の羽根を持つ偏心ローターの回転により、液体をケージング内壁に押しつけてシールさせ、気体輸送させる。通 常、封液として水を使用。水蒸気などを廃棄するには適しているが、大きな床面 積と大動力を必要とする。
・油回転真空ポンプ
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ローター、ステーター、しゅう動翼板などからなる機械的真空ポンプで、油によってこれら部品の間の気密並びに無効空間の減少を図っているものの総称。大気圧から高真空領域まで有効に作動し小型のわりに大きな排気速度が得られ効率も良いため、多く使われている。
├回転翼型
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運動中の振動が少ない。最も多く使用されている。
├カム型
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1回で掃引する容積が回転翼型より大きい。
└振動ピストン型
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振動は大きいが比較的大容量のものによく使われる。
・ルーツ真空ポンプ
（メカニカル
ブースター）
：
互いに反対方向に回転する一対のまゆ形ロータを90度位相をずらして取り付け気体輸送を行う。大気圧に放出する他の形式の（油回転など）を補助ポンプとして使用し、高真空領域に使用。 高速回転が可能で、大容量の排気ができる。
・ターボ分子ポンプ
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高速回転する回転子の表面に衝突した気体分子に運動量が伝えられて気体輸送を行う。分子流領域で有効に作動する。
・ドライ真空ポンプ
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油や液体を使用しないため、油蒸気などを嫌う用途に有効。機械的なしゅう動部の摩擦としゅう 動音、それに伴う摩擦熱などの問題がある。
├ ダイアフラム式
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比較適少量のものに使用し、ドライ真空ポンプの中では静かである。
├ ピストン式
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大容量のものは構造上大きくなり、振動が出やすくなる。
└ 回転翼式
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振動が少なく連続排気をするため脈動がなく多く利用される。
運動量移送式真空ポンプ
・油拡散ポンプ
：
油蒸気の噴流を利用して気体分子に運動量を与え、排気口側に移送して排気する方式。他に水銀蒸気、水蒸気を利用したものもある。
溜込式真空ポンプ
・クライオポンプ
：
吸入した気体を系外に出さずに内部に溜め込み、高真空状態を達成しようとするものの1つ。 極低温の面に気体を吸着し、固化させて高真空を作り出す。油を用いないため清浄な真空が得られ、かつ吸着方式のポンプにもかかわらず排気量 が多い。
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